포스텍 정대성 화공과 교수팀
저전력 구동·저온 열처리 가능
저전력 구동·저온 열처리 가능
IoT 기술의 세계적인 발전으로 대기전력이 낮은 금속산화물반도체 기반 회로, 저가 용액공정이 가능한 박막트랜지스터(TFT) 소재에 관심이 급증하고 있다.
용액 처리가 가능한 여러 반도체 중에서 금속 산화물은 높은 전하 캐리어 이동도와 작동 안정성 때문에 주로 TFT용으로 가장 성공적인 재료 플랫폼으로 여겨지고 있다.
정 교수 연구팀은 무기 입자를 고분자에 공유결합으로 연결해 유기-무기 하이브리드 유전층의 고효율 가교 방법을 제안했다.
아자이드 작용기를 가진 아세틸아세토네이트를 사용해 조밀하고 결함이 없는 박막 형태의 유-무기 하이브리드 트랜지스터를 개발한 것이다.
연구팀이 개발한 방법에 따르면 누설 전류를 감소시켜 저전력으로도 구동이 가능해졌다.
또 우수한 물성의 유전체를 손쉬운 공정 방법인 용액공정을 통해 제조할 수 있어 박막트랜지스터 제조 비용을 줄일 수 있었다. 뿐만 아니라 저온 열처리가 가능하므로 유연성이 있는 기판 위에서 제조도 가능했다.
이 연구는 세계적인 권위지 ‘네이처 커뮤니케이션스(Nature Communications)’에 최근 게재됐다.
이상호기자 ish@idaegu.co.kr
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