초순수 국산화 구미 반도체 특화단지 ‘탄력’

김장호 시장, SK실트론 방문
정식공급 앞두고 통수시설 확인
1단계 구축, 하루 1200t 공급
실증 플랜트 완료 시 국산화 60%

구미시는 초순수 국산화 정식공급을 앞두고 SK실트론의 실증플랜트 구축 현장을 방문해 초순수 생산 및 통수시설을 확인했다.

초순수는 반도체 생산 공정에서 기판인 웨이퍼 표면의 이물질을 세척하기 위해 사용되는 용수로 오염되면 반도체 회로 공정에 치명적인 손상을 주기 때문에 미생물, 전해질, 유기물 등 불순물을 ‘제로’ 상태로 제거하는 극정제화 작업을 거쳐 생산된다.

수돗물을 생산하는 정수장 공정이 7단계인 데 비해 초순수는 25단계의 공정을 거친다. 이런 세밀하고 복잡한 공정 때문에 일본, 미국, 유럽연합(EU) 등 선진국만 초순수 생산 기술을 보유하고 있다.

현재 삼성전자와 SK하이닉스 반도체 공장 내 초순수 시설은 일본·미국산 장치를 사용하며 일본 기업들이 설계와 분석을 하고 있다.

이에 환경부와 한국수자원공사는 초순수 국산화를 위해 SK실트론 구미2공장에 하루 2천400t 규모의 초순수 국산화 실증플랜트 구축을 추진하고 있다.

초순수 국산화 실증플랜트는 외산 플랜트와 기술력 비교검증을 위해 총 3단계로 구축 운영할 계획이며 정식공급 1단계는 그동안 외국에 의존했던 설계시공을 최초로 국산화한 플랜트로 하루 1천200t의 초순수를 SK실트론 웨이퍼 공정에 공급하게 된다.

또 올해 말까지 개발중인 국내장비를 적용해 1천200t의 초순수 국산화 플랜트 2단계를 추가 구축하고 플랜트 운영효율 향상을 위한 디지털 트윈 기반 운영시스템(3단계)도 구축해 성능평가를 완료할 예정이다.

초순수 국산화실증 플랜트가 완성되면 초순수 공정의 최대 60%를 국산화할 것으로 기대하고 있다.

반도체 산업은 대표적인 물 다소비 산업으로 사용 용수의 50%를 초순수 공업용수로 사용하고 있다.

반도체 산업의 필수 소재인 초순수의 국산화로 반도체 소재부품 중심의 구미 반도체 특화단지 지정 당위성이 부각되고 있고 반도체 소재부품 생산을 위한 생태계도 한층 더 견고해질 전망이다.

김장호 시장은 “구미에서 시작한 초순수 국산화는 국내 반도체 소재부품 공급망 안정화와 자립화에 도화선 역할을 할 것”이라며 “반도체 소재부품산업 경쟁력 강화를 위해 구미 반도체특화단지 지정에 많은 관심을 가져달라”고 당부했다. 최규열기자 choi6699@idaegu.co.kr

최규열 다른기사 보기