‘다이실란’생산설비 신기술 인정 받아
영주시 휴천동 적서농공단지내 특수가스 전문기업인 OCI머티리얼즈㈜(대표이사 조백인)가 독자적으로 개발한 다이실란(Si2H6) 제조 공정 기술에 대해 지식경제부 기술표준원으로 부터 신기술(NET)인증서를 수여했다.
OCI머티리얼즈가 개발한 고순도 다이실란(Si2H6)제조 공정 기술은 모노실란(SiH4)의 열분해 반응을 이용해 제조하는 기술로서, 본 기술을 통해 제조되는 고순도 다이실란(Si2H6)은 반도체 공정의 증착용 가스로 사용되며, 미세화 공정에서 우수한 박막형성 효과를 얻을 수 있다.
OCI머티리얼즈 관계자는 “고순도 다이실란(Si2H6)은 전량 수입되고 있으며, 전세계적으로 공급이 부족해 높은 가격을 유지하고 있어 앞으로 공급부족 및 수입대체 등의 해결을 통한 국내 반도체 산업의 발전에 기여할 것으로 기대된다” 며 “이번 신기술 인증으로 삼불화질소(NF3)에 이은 또 한번의 국산화를 이루며 당사의 기술력을 다시 한번 입증 받는 계기가 됐다”고 말했다.
다이실란(Si2H6)제조 생산설비는 영주공장에 올 6월 착공해 지난달 말 완공했으며, 연산 10톤 규모의 생산능력을 갖추고 있다.
OCI머티리얼즈는 지난 11월 20일 중국 진강시에 1천t 규모의 삼불화질소(NF3) 생산 설비공장을 완공함에 따라 삼불화질소(NF3)는 연산 7천500t의 세계 1위 생산설비를 갖추고 있다.
영주=김교윤기자 kky@idaegu.co.kr
OCI머티리얼즈가 개발한 고순도 다이실란(Si2H6)제조 공정 기술은 모노실란(SiH4)의 열분해 반응을 이용해 제조하는 기술로서, 본 기술을 통해 제조되는 고순도 다이실란(Si2H6)은 반도체 공정의 증착용 가스로 사용되며, 미세화 공정에서 우수한 박막형성 효과를 얻을 수 있다.
OCI머티리얼즈 관계자는 “고순도 다이실란(Si2H6)은 전량 수입되고 있으며, 전세계적으로 공급이 부족해 높은 가격을 유지하고 있어 앞으로 공급부족 및 수입대체 등의 해결을 통한 국내 반도체 산업의 발전에 기여할 것으로 기대된다” 며 “이번 신기술 인증으로 삼불화질소(NF3)에 이은 또 한번의 국산화를 이루며 당사의 기술력을 다시 한번 입증 받는 계기가 됐다”고 말했다.
다이실란(Si2H6)제조 생산설비는 영주공장에 올 6월 착공해 지난달 말 완공했으며, 연산 10톤 규모의 생산능력을 갖추고 있다.
OCI머티리얼즈는 지난 11월 20일 중국 진강시에 1천t 규모의 삼불화질소(NF3) 생산 설비공장을 완공함에 따라 삼불화질소(NF3)는 연산 7천500t의 세계 1위 생산설비를 갖추고 있다.
영주=김교윤기자 kky@idaegu.co.kr
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